第426章 深紫深渊 (2/4)

必须要有高损伤阈值的膜

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必须要有ibs设备

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买不到。

“能不能自己造ibs？”林远问。

“原理我们懂。但是，核心的射频离子源，需要极其精密的磁场约束和栅极加工。国内的离子源，束流不稳定，打出来的膜厚度不均匀。”张教授摇头。

林远沉默了。

没有设备，巧妇难为无米之炊。

“既然物理镀膜走不通……”

林远盯着那个烧蚀的黑点。

“那我们就用化学。”

“ald原子层沉积。”

林远看向李振声。

“我们在普罗米修斯计划里，不是搞到了tdmat的前驱体工艺吗？那是用来做半导体栅极的。”

“现在，我要你们把ald技术，用到光学镀膜上！”

“ald是一层一层原子长的。它的致密度，比ibs还要高！”

“但是，”张教授犹豫道，“ald太慢了。长一微米要几天。而且，ald可用的光学材料太少，折射率匹配很难。”

“那就做混合膜系。”

林远在白板上画了一个三明治结构。

“底层：用国产电子束镀膜，做厚度。”

“表层：用ald镀一层50纳米的致密保护层，做封孔！”

“就像给疏松的墙面，刷一层防水漆。”

“只要水分子进不去，lidt阈值就能提上来！”

这是一个典型的“土法炼钢”思路，用两种低端工艺的组合，去逼近高端工艺的效果。

方案确定，立刻执行。

经过两周的折腾，第一批采用e-beam

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ald复合工艺的镜片下线了。

上机测试。

激光器启动。波长193nm，功率10w。

十分钟过去了。膜没破。

三十分钟过去了。膜依然完好。

“成功了！”张教授激动得握紧了拳头。

但是，负责算法的汪韬，却皱起了眉头。

“不对。光斑散了。”

屏幕上，原本应该汇聚成一个针尖大小的焦点，此刻却变成了一个模糊的光晕。

“焦距漂移了。”汪韬看着数据，“漂移了整整2毫米。这对于纳米级的光刻计算来说，误差是致命的。”

“为什么会漂移？”林远问。