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第二百零三章 奠基石 (2/4)
就这么简单。
这就像圣经中说的:要有光,于是,有了光。
这位名叫萧强的年轻人,就如同一个神秘莫测的仙人,只要他想要地,就没有得不到地。那么,这次他大费周章。所进行的改造。又会给他们带来怎样的惊喜?
萧强进入实验室。脱去了全身衣服,淋浴除掉身上的尘埃。他在紫外线照射室照射了几分钟。才换上了连体无菌服,打开房门,进入了实验室内部。
近千平方米地实验室里。摆放着两台光刻机。寰宇的工程师们还没有急于马上动手。他们围在光刻机周围,正在根据技术手册,展开讨论。
试验室旁边,各种各样高精密的测量仪器、自动化机械臂。堆满了半个屋子。
只有这些高精密测量仪器,才能保证光刻机拆卸之后,还能够顺利复原。
萧强找到寰宇精密仪器公司地汪工,问道:“怎么样?改造技术难度大不大?”
“非常大!”汪工直言不讳地承认,“这套设备制造非常静谧,我们在弄清其全部技术细节之前,还不敢动手。万一搞砸了,这套上亿美元地设备就完了!”
“那什么时候可以改造完成?”萧强有些紧张,他可是和德法两国签订了正式的合同,要是完成不了,他除了赖帐。就只有破产一条路了。
汪工看出了他的紧张,安慰道:“老板,你放心。我们之前就进行过多次验证,不会出问题地。现在主要是要搞清楚光刻机地内部结构细节,只要这个吃透了。改造本身非常简单。复原也不会带来困难,磨刀不误砍柴工,这是必要的。”
这些科研工作者们习惯了一丝不芶的科研流程,要不是萧强是公司老板,他们也知道萧强承受着巨大的压力。可能早就直言顶撞过去了。
萧强听完他的解释,虽然还是担心,但还是强迫自己镇定下来。
他知道,汪工说地没错。
改造设备,又是在没有原厂技术人员地指导下,再怎么小心谨慎,也不为过。
至于新技术改造。萧强想起他第一次听到这个技术的时候,那种惊愕地表情,都有些好笑。
他当时之所以惊愕,不是因为这个技术难度有多么大,而是太简单,简单到他以为自己听错了,采用如此简单地方式,就可以大幅度提高光刻机地加工精度?
这个新技术,被精密仪器公司命名为“浸入式光刻技术”。
听起来,似乎是个很了不起的发明。
但等到萧强明白其原理,当场就愣住了。
浸入式光刻技术,就是在光刻镜头,与待刻地硅晶片之间,充满**!
简单到萧强以为汪工等人,被他逼急了。所以拿出这个荒谬的说法来糊弄他。直到听汪工讲解了其中原理,并在实验室,现场看到了一台经过改装的小型八百纳米光刻机。成功地刻制出五百五十纳米地密集图形。才一下动了心。
通常的光刻机,在光刻镜头与硅晶元之间,没有任何遮挡。
当然,从另一个方面来说,他们中间。充斥的是空气。
浸入式的思路,就是用**。来替换中间的空气。由于**具有折光率,所以当紫外线光通过**介质后,其光源波长会缩短。从而起到精微刻制的作用。
用主流的三百六十纳米技术来说,采用折射率为一点五的**,其光波就能变成二百四十纳米!
而寰宇公司费尽心机弄回来的二百四十八纳米地光刻机,采用了一点五地浸入式技术,立即就摇身一变,成为一百六十五纳米光刻机,远远超过现有的光刻技术!
其实浸入式光刻,并非寰宇公司首创。但真正长期将其作为一个研究项目的研究单位,全世界也只有寰宇公司。
光刻技术的发展,从一代技术向下一代技术发展地时候。总会出现瓶颈。
因此,早在八零年。就有科学家采用浸入技术,成功地提高了光刻效果。然而,由于浸入式光刻技术,它的**很容易污染光学镜片,所以主流光刻技术研究,只是将其作为一个过渡手段,没有重视。一旦下一代光刻技术成熟,便毫不犹豫地抛弃浸入式光刻。
但寰宇公司不同。
汪工等精密仪器公司的研究人员。虽然使出浑身解数。但限于光学技术的制约。在光刻机上,总是落后于西方。
穷则变。变则通。
他们为了改进光刻精度。把所有可以利用的技术,都使用遍了。最后,经过反复研究。他们在不放弃光学研究地同时,将主要精力。都投入了浸入式光刻技术的研究,并于近期,取得了极大地成果。
他们开发出了全套地浸入式技术。
如折光率不同的**,就从一点五五到二不等的多种浸入式**材料。
而影响到光刻效果的**泡沫、透光率、专用光刻胶等等相关研究,也取得了巨大的成功,已经初步可以实用化。
精密仪器实验室,已经选定了一种特制**,作为浸入式光刻技术地主要材料。
这种**的折射率高达一点七。通过实验和技术手段改进,其透光率也完全可以应用于大规模生产。
只要汪工等将光刻机改造成功。寰宇公司将马上得到两套一百四十五纳米超高精度的光刻机。只此一项,就可以让寰宇公司遥遥领先世界水平!
寰宇公司也对这项成熟技术。进行了最严密的保护。
在国外热衷于更高精度开发光学镜片、而忽略浸入式光刻技术地时候,他们已经为此作了大量的工作。积累了丰富的经验。
这样,哪怕国外推出再先进地光刻机,他们也马上可以利用浸入式技术。超过对手。
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